| Profilbreite | bis 1400 mm |
| Messbereich Laser-Triangulationssensoren | bis 78 mm |
| Genauigkeit | ± 3 μm |
| Messbereich chromatisch-konfokale Sensoren | bis 4 mm (beliebig skalierbar zur vertikalen Sensor-Repositionierung) |
| Genauigkeit | bis ± 1 μm |
| Messbereich interferometrische Sensoren | bis 8 mm (beliebig skalierbar zur vertikalen Sensor-Repositionierung) |
| Genauigkeit | bis ± 1 μm (bei Schichtdicken <0,5 μm) |
| Messmittelfähigkeit (Cg&Cgk): [TW* = 10 x Genauigkeit] | ≥1,67 |
| Sensor | Laser-Trianguation, Chromatisch-konfokal, Interferometrisch |
| Messpunkte | bis 3 |
| Scanfrequenz | sensortechnologieabhängig |
| Laserklasse | 2 (kein ausgewiesener Laserschutzbeauftragter erforderlich) |
| Auflösung der Profildicke | <0,01 μm |
| Angezeigte Auflösung | 1 μm / 0,01 für chromatisch-konfokal / interferometerisch |
| Relative Luftfeuchtigkeit | 15 bis 95 % (nicht kondensierend) |
| Umgebungstemperatur | +10 bis +50 °C |
| Betriebsspannung | 120 bis 230 V; 50/60 Hz; 16 A |
| Schutzart | IP 54 |