| Largeur de profilé | jusqu'à 1400 mm |
| Étendue de mesure des capteurs à triangulation laser | jusqu'à 78 mm |
| Précision | ± 3 μm |
| Plage de mesure des capteurs chromatiques-confocaux | jusqu'à 4 mm (évolutif à volonté pour le repositionnement vertical du capteur) |
| Précision | jusqu'à ± 1 μm |
| Étendue de mesure des capteurs interférométriques | jusqu'à 8 mm (évolutif à volonté pour le repositionnement vertical du capteur) |
| Précision | jusqu'à ± 1 μm (pour les épaisseurs de couche <0,5 μm) |
| Capacité de l'instrument de mesure (Cg&Cgk): [TW = 10 x précision] | ≥1,67 |
| Capteur | Triangulation laser, chromatique-confocale, interférométrique |
| Points de mesure | jusqu'à 3 |
| Fréquence de balayage | en fonction de la technologie du capteur |
| Classe de laser | 2 (inutile de nommer un responsable pour la protection laser) |
| Résolution de l'épaisseur de profilé | <0,01 μm |
| Résolution affichée | 1 μm / 0,01 pour chromatique / interféromètre |
| Humidité relative de l'air atmosphérique | 15 - 95 % (sans condensation) |
| Température ambiante | +10 à +50 °C |
| Tension de service | 120 V - 230 V; 50 Hz/60 Hz; 16 A |
| Indice de protection | IP 54 |