| Ширина профиля | до 1400 мм |
| Диапазон измерения лазерных триангуляционных датчиков | до 78 мм |
| Точность | ± 3 мкм |
| Диапазон измерения хроматических конфокальных датчиков | до 4 мм (свободно масштабируется для вертикальной перестановки датчика) |
| Точность | до ± 1 мкм |
| Диапазон измерения интерферометрических датчиков | до 8 мм (свободно масштабируется для вертикальной перестановки датчика) |
| Точность | до ± 1 мкм (при толщине слоев <0,5 мкм) |
| Возможности средств измерения (Cg&Cgk): [TW* = 10 x точность] | ≥1,67 |
| Датчик | лазерный триангуляционный, хроматический конфокальный, интерферометрический |
| Точки измерения | до 3 |
| Частота сканирования | зависит от технологии датчиков |
| Класс безопасности лазера | 2 (назначенное ответственное за безопасность лазера лицо не требуется) |
| Разрешающая способность толщины профиля | <0,01 мкм |
| Отображаемая разрешающая способность | 1 мкм/0,01 для хроматического/интерферометрического |
| Отн. влажность воздуха | 15-95 % (без конденсации) |
| Температура окружающей среды | от +10 до +50 °C |
| Рабочее напряжение | 120-230 В; 50 Гц/60 Гц; 16 А |
| Степень защиты | IP 54 |