| Larghezza del profilo | fino a 1400 mm |
| Campo di misurazione sensori a triangolazione laser | fino a 78 mm |
| Precisione | ± 3 μm |
| Campo di misurazione sensori confocali cromatici | fino a 4 mm (scalabile a piacere per il riposizionamento verticale dei sensori) |
| Precisione | fino a ± 1 μm |
| Campo di misurazione sensori interferometrici | fino a 8 mm (scalabile a piacere per il riposizionamento verticale dei sensori) |
| Precisione | fino a ± 1 μm (con spessori degli strati <0,5 μm) |
| Capacità delle apparecchiature di misura (Cg&Cgk): [TW* = 10 x precisione] | ≥1,67 |
| Sensore | triangolazione laser, cromatico-confocale, interferometrico |
| Punti di misurazione | fino a 3 |
| Frequenza di scansione | a seconda della tecnologia dei sensori |
| Classe laser | 2 (non occorre designare un responsabile della protezione laser) |
| Risoluzione dello spessore del profilo | <0,01 μm |
| Risoluzione indicata | 1 μm / 0,01 per cromatico-confocale / interferometerico |
| Umidità atmosferica relativa | dal 15 al 95 % (non condensante) |
| Temperatura ambiente | da +10 a +50°C |
| Tensione di esercizio | da 120 a 230 V, 50/60 Hz, 16 A |
| Grado di protezione | IP 54 |