Automation & Vision Systems
| 形状幅 | 位置と測定点の数に応じて異なる |
| 厚さ最大測定範囲 | 最大34 mm | 最大78 mm |
| 厚さ精度 | ± 1 μm | ± 1 μm |
| ゲージ精度 (Cg&Cgk):[TW = 10 x 精度] | > 1,67 |
| レーザーセンサ | ポイントセンサ |
| 測定点 | 最大 3 |
| スキャン周波数 | 1 kHz |
| レーザクラス | 2 (安全管理責任者が不要なレーザー) |
| 形状厚さ分解能 | < 1 μm |
| 表示分解能 | 1 μm |
| 大気中の相対湿度 | 15 ~ 95 % (結露なきこと) |
| 周囲温度 | +10 ~ +50 °C |
| 作動電圧 | 120 V ~ 230 V; 50 Hz/60 Hz; 16 A |
| 保護等級 | IP 54 |
| 形状幅 | 位置と測定点の数に応じて異なる |
| 厚さ最大測定範囲 | 最大34 mm | 最大78 mm |
| 厚さ精度 | ± 3 μm |
| クロマティック共焦点センサの測定範囲 | 最大・4・mm(任意拡張可能、垂直方向センサ位置変更可能) |
| 精度 | 最大± 1 μm |
| 干渉計センサの測定範囲 | 最大・8・mm(任意拡張可能、垂直方向センサ位置変更可能) |
| 精度 | 最大 ± 1 μm (層の厚さ <0.5 μmにて) |
| ゲージ精度 (Cg&Cgk):[TW* = 10 x 精度] | ≥1,67 |
| センサ | レーザー三角測量、クロマティック共焦点、干渉計 |
| 測定点 | 最大3 |
| スキャン周波数 | センサ技術に応じて異なる |
| レーザクラス | 2 (安全管理責任者が不要なレーザー) |
| 形状厚さ分解能 | < 1 μm |
| 表示分解能 | 1 μm / 0.01 クロマティック/干渉計 |
| 大気中の相対湿度 | 15 ~ 95 % (結露なきこと) |
| 周囲温度 | +10 ~ +50 °C |
| 作動電圧 | 120 V ~ 230 V; 50 Hz/60 Hz; 16 A |
| 保護等級 | IP 54 |