Automation & Vision Systems
| 形状幅 | 最大 1400 mm |
| レーザー三角測量センサの測定範囲 | 最大 78 mm |
| 精度 | 最大 ±3 μm |
| クロマティック共焦点センサの測定範囲 | 最大・4・mm(任意拡張可能、垂直方向センサ位置変更可能) |
| 精度 | 最大 ±0,5 μm |
| 干渉計センサの測定範囲 | 最大・8・mm(任意拡張可能、垂直方向センサ位置変更可能) |
| 精度 | 最大 ± 0,5 μm (層の厚さ <0.5 μmにて) |
| ゲージ精度 (Cg&Cgk):[TW* = 10 x 精度] | ≥1,67 |
| センサ | レーザー三角測量、クロマティック共焦点、干渉計 |
| 測定点 | 最大3 |
| スキャン周波数 | センサ技術に応じて異なる |
| レーザークラス (三角測量センサのみ) | 2 (安全管理責任者が不要なレーザー) |
| 形状厚さ分解能 | 0,01 μm |
| 形状幅の分解能 | 0,001 μm |
| センサトラバース速度 | 150 mm/s (ご要望によりその他も対応可能) |
| 相対湿度 | 15~95% (結露なきこと) |
| 周囲温度 | +10 °C ~+50 °C |
| 作動電圧 | 120 ~230 V, 50/60 Hz, 16 A |
| 保護等級 | IP 54 |