Automation & Vision Systems
形状幅 | 位置と測定点の数に応じて異なる |
測定範囲 厚さ | 最大78 mm |
厚さ精度 | 最大 5 μm (0,5μmまでの層厚を測定する場合) |
ゲージ精度 (Cg&Cgk):[TW* = 10 x 精度] | ≥1,67 |
センサ技術 | レーザー三角測量 / 色彩共焦点 / 渦電流センサーと組み合わせた干渉計 |
測定点 | 最大5 |
スキャン周波数 | センサ技術に応じて異なる |
レーザークラス | 2 (安全管理責任者が不要なレーザー) |
形状厚さ分解能 | <0,01 μm |
表示分解能 | レーザー三角測量の場合は 1 μm / クロマティック共焦点/干渉計の場合は 0.01 μm |
センサの位置・移動速度 | 最大 133mm/s (ご要望によりその他も対応可能) |
相対湿度 | 15~95% (結露なきこと) |
周囲温度 | +10 ~+50 °C |
作動電圧 | 120 ~230 V; 50/60 Hz; 16 A |
保護等級 | IP 54 |