Automation & Vision Systems
| 形状幅 | 最大 4000 mm |
| レーザー三角測量センサの測定範囲 | 最大 78 mm |
| 精度 | ± 10 μm |
| クロマティック共焦点センサの測定範囲 | 最大・4・mm(任意拡張可能、垂直方向センサ位置変更可能) |
| 精度 | 最大 ± 5 μm |
| 干渉計センサの測定範囲 | 最大・8・mm(任意拡張可能、垂直方向センサ位置変更可能) |
| 精度 | 最大 ± 5 μm (層の厚さ <0.5 μmにて) |
| ゲージ精度 (Cg&Cgk):[TW* = 10 x 精度] | ≥1,67 |
| センサ | レーザー三角測量、クロマティック共焦点、干渉計 |
| 測定点 | 1 |
| スキャン周波数 | センサ技術に応じて異なる |
| レーザークラス | 2 (安全管理責任者が不要なレーザー) |
| 形状厚さ分解能 | <0,01 μm |
| 表示分解能 | 1 μm / 0.01 色彩共焦点 / 干渉計用 |
| 相対湿度 | 15~95% (結露なきこと) |
| 周囲温度 | +10 ~+50 °C |
| 作動電圧 | 120 ~230 V; 50/60 Hz; 16 A |
| 保護等級 | IP 54 |