Automation & Vision Systems
形状幅 | 最大 4000 mm |
レーザー三角測量センサの測定範囲 | 最大 78 mm |
精度 | ± 10 μm |
クロマティック共焦点センサの測定範囲 | 最大・4・mm(任意拡張可能、垂直方向センサ位置変更可能) |
精度 | 最大 ± 5 μm |
干渉計センサの測定範囲 | 最大・8・mm(任意拡張可能、垂直方向センサ位置変更可能) |
精度 | 最大 ± 5 μm (層の厚さ <0.5 μmにて) |
ゲージ精度 (Cg&Cgk):[TW* = 10 x 精度] | ≥1,67 |
センサ | レーザー三角測量、クロマティック共焦点、干渉計 |
測定点 | 1 |
スキャン周波数 | センサ技術に応じて異なる |
レーザークラス | 2 (安全管理責任者が不要なレーザー) |
形状厚さ分解能 | <0,01 μm |
表示分解能 | 1 μm / 0.01 色彩共焦点 / 干渉計用 |
相対湿度 | 15~95% (結露なきこと) |
周囲温度 | +10 ~+50 °C |
作動電圧 | 120 ~230 V; 50/60 Hz; 16 A |
保護等級 | IP 54 |